机译:基于横向场激励压电AlN轮廓模式MEMS谐振器的1.05-GHz CMOS振荡器
机译:基于压电AlN MEMS技术的双模谐振器和无开关可重构振荡器
机译:基于多频AlN轮廓模式MEMS谐振器的可重构CMOS振荡器
机译:基于侧场激励压电AlN谐振器的1.05 GHz MEMS振荡器
机译:电容间隙MEMS基于谐振器的低功耗信号处理振荡器。
机译:SOI基板上的轮廓模式MEMS ALN压电环谐振器的温度特性
机译:基于横向场激励压电AlN谐振器的1.05 GHz MEMS振荡器